熱反射法薄膜導熱儀

產(chǎn)品簡介：熱反射法薄膜導熱儀 TF-LFA L54采用頻域熱反射（FDTR）非接觸技術(shù)，專為精確表征納米至微米級薄膜材料的熱物性（導熱系數(shù)、熱擴散系數(shù)等）而設(shè)計。尤其適用于半導體、熱電、LED等領(lǐng)域的功能性薄膜。技術(shù)優(yōu)良，無需樣品熱容和密度已知，即可實現(xiàn)對薄膜及界面熱阻的完整評估。

產(chǎn)品型號：TF-LFA

更新時間：2026-03-16

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：23513

服務(wù)熱線

86-021-50550642

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

導熱儀

LFA-激光導熱儀 THB-瞬態(tài)熱橋法導熱儀 TIM-材料熱阻導熱測試儀 HFM-熱流計 TLF-熱反射法薄膜導熱儀 PLH-微米薄膜導熱測試系統(tǒng) TFA-薄膜綜合物性分析儀 LZT-導熱/塞貝克聯(lián)測儀

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產(chǎn)品介紹

熱反射法薄膜導熱儀 TF - LFA L54

頻域熱反射導熱儀 TF-LFA，是一種在頻域內(nèi)對薄膜熱性能進行非接觸表征的技術(shù)，可測量薄膜的導熱系數(shù)、體積熱容、熱擴散系數(shù)、傳熱效率和邊界導熱系數(shù)。

薄膜是指厚度從納米到微米范圍的表面材料。由于厚度和溫度的影響，它們的熱物理性質(zhì)與塊狀材料差別很大。薄膜通常用于半導體、熱電材料、相變存儲器、發(fā)光二極管、燃料電池和光存儲介質(zhì)等行業(yè)中，這些行業(yè)應(yīng)用會在基底上沉積一層薄膜，以賦予設(shè)備特定的功能。

頻域熱反射導熱儀 TF-LFA，是林賽斯與德國亞琛工業(yè)大學合作研發(fā)的，是在時域熱反射法的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的新探測手段，F(xiàn)DTR（頻域熱反射）是一種在頻域內(nèi)對薄膜熱性能進行非接觸表征的技術(shù)。使用了波長為 532 nm 的連續(xù)激光（探測激光），同時使用不同波長（405 nm）的調(diào)制泵浦激光對樣品進行加熱。利用熱擴散傳輸模型對頻域響應(yīng)進行建模，可以確定薄膜的導熱系數(shù)、體積熱容、熱擴散系數(shù)、傳熱效率和邊界導熱系數(shù)。

獨特功能

薄膜的完整熱性能表征，無需提供薄膜的熱容和密度。
接觸熱阻和導熱系數(shù)的測定（測量兩個相鄰層之間的熱接觸，例如樣品與表面或樣品與傳輸層）。
可選的各向異性功能，允許測量面間（穿過材料）和面內(nèi)（垂直于激光激發(fā)）方向的導熱系數(shù)。
通過可選的樣品成像選項，可以跟蹤樣品在特定區(qū)域或表面的熱特性，非常適合材料均勻性檢查。
對激光束聚焦進行自動優(yōu)化，以改善測量結(jié)果。
相機選項通過提供額外的視覺信息簡化了操作。這樣使用戶能看到樣品表面的實際情況，從而確定樣品上感興趣的位置。

熱反射法薄膜導熱儀 規(guī)格參數(shù)

類型	TF - LFA L54
類型	TF - LFA L54
樣品尺寸：	2 mm x 2 mm 和 25 mm x 25 mm 之間的任意形狀
樣品尺寸：	2 mm x 2 mm 和 25 mm x 25 mm 之間的任意形狀
薄膜樣品：	10 nm - 20 µm * （取決于樣品）
溫度范圍：	RT， RT - 200 ℃ / 500 °C， 4'' 晶圓樣品支架（僅限于室溫）
氣氛：	惰性、氧化或還原，真空度可達 10E^-4 mbar
熱擴散系數(shù)測量范圍：	0.01 - 1200 mm²/s （取決于樣品）
泵浦激光：	泵浦激光器（405 nm，300 mW，調(diào)制頻率高達 200 MHz）
探測激光：	CW Laser（532 nm，25 mW）
檢測器：	Si 基光電探測器，有效直徑：0.2 mm，帶寬：DC - 400 MHz
軟件：	包含使用多層分析計算熱物理性質(zhì)的軟件包
* 實際厚度范圍取決于樣品